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FFU/层流罩系列

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FFU/层流罩系列

    什么是FFU?
    FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。

    FFU具有特点:
    一:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
    第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
    第三:负压通风。这是FFU的别样特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
    第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
    第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。

    主要技术参数

型号 YCKJ-FFU-2×2 YCKJ-FFU-2×3 YCKJ-FFU-2×4 YCKJ-FFU-3×4 YCKJ-FFU-3×4 YCKJ-FFU-4×4
外型尺寸(mm)(WXDXH) 575×575×320 575×875×320 575×1175×320 875×875×320 875×1175×320 1175×1175×320
面风速 0.45±20%
噪音dB(A)(风速0.45m/s,
距出风面0.5m)
48 48 48 48 52 52
HEPA过滤效率 ≥99.99%@0.3um
HEPA规格 570×870×90 570×870×90 570×1170×90 870×870×90 870×1170×90 1170×1170×90
电源 AC单相,220V/50Hz
功耗(W)(风速0.45m/s) 120 125 140 180 240 280
机外余压(Pa) 50~130
振动 ≤4um
箱体材质 镀铝锌板/不锈钢/铝板/冷板
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